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紫外纳米压印技术制备有机聚合物光波导放大器的方法

发布日期:2018-08-21提交部门:项目部来源:吉林大学科技成果汇编手册2018

基本信息

成果简介:
本发明采用一种紫外固化的有机聚合物为光波导包层及衬底,采用不同的掺铒有机聚合物为光波导芯层,制备带有柔性的全聚合物光波导放大器的方法。
与现有技术相比,本发明所述方法不需要再使用昂贵的厚膜生长和相应的离子注入设备,同时避开高温生长材料的困难,不需要光刻、显影、掩模、RIE刻蚀、ICP刻蚀等传统工艺,上下包层材料不需要费时的热固化及降温,只需要短暂的光固化即可,整个器件制备过程简单,工艺精度高,在较低的温度范围内(室温~芯层固化温度)制作EDWA器件。

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neirong